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HBM疊晶片 3D DRAM往上蓋樓

台積電
神山進擊記憶體
3D DRAM
2026.11.07 11:56 (2026.11.07更新) | 黃俊凱
左:台積電南部科學園區晶圓14B廠;右:超微Fiji繪圖晶片封裝,中間為GPU,周圍4顆為HBM記憶體堆疊,資料照。(圖/4300streetcar,CC BY 4.0;C. Spille/pcgameshardware.de,CC BY-SA 4.0)
左:台積電南部科學園區晶圓14B廠;右:超微Fiji繪圖晶片封裝,中間為GPU,周圍4顆為HBM記憶體堆疊,資料照。(圖/4300streetcar,CC BY 4.0;C. Spille/pcgameshardware.de,CC BY-SA 4.0)
台積電傳出評估生產3D DRAM,常被拿來和AI晶片用的高頻寬記憶體HBM混為一談。德國科技媒體heise整理各廠技術資料指出,HBM是把多顆分別薄化的DRAM晶片疊起來,3D DRAM則是在同一顆晶片上堆疊多層記憶體單元。

傳統DRAM像平房 HBM疊成大樓

DRAM是電腦、手機與伺服器的工作記憶體,每個記憶單元由1個電晶體和1個電容組成(1T1C),傳統DRAM把這些單元平鋪在晶片表面,像一棟平房;要放更多資料,只能靠微縮製程把房間越切越小。

DRAM製程至今仍停在10奈米級,輝達客製化HBM採用的已是第6代10奈米級(1c)製程。SK海力士研究人員曾指出,延續現有平面設計、靠極紫外光(EUV)微縮,成本越來越高。

國際半導體標準組織JEDEC去年4月公布的HBM4標準,允許單一HBM堆疊4到16層DRAM晶片,晶片之間以矽穿孔(TSV)像電梯井一樣上下連通,最底層是負責收發訊號的邏輯晶粒,再透過台積電CoWoS等先進封裝放在GPU旁邊。HBM通道多、頻寬大,但每一顆DRAM晶片本身仍是平面結構。

3D DRAM 同塊地基往上蓋

3D DRAM在同一顆晶片上,直接往上堆疊數十甚至上百層記憶體單元,做法類似手機與固態硬碟裡的3D NAND快閃記憶體。SK海力士2024年11月宣布量產321層NAND,DRAM還沒有走到這一步;SK海力士同年在VLSI研討會展示的3D DRAM只有5層,良率56.1%。

DRAM每個單元都需要電容存電荷,多數3D DRAM設計因此要把電晶體與電容改成橫向排列,再一層層疊上去。日本設備大廠東京威力科創(TEL)指出,垂直通道電晶體(VCT)DRAM需要新的電容與位元線材料。

HBM解頻寬 3D DRAM解容量

HBM解決頻寬瓶頸,讓GPU每秒拿到更多資料;3D DRAM要解決的是微縮接近極限、容量密度難再提升。HBM已量產多年,正從HBM4走向HBM4E;三星2024年5月在國際記憶體研討會(IMW)規畫3D DRAM在2030年前後商用,最多堆疊16層。

HBM靠TSV鑽孔與封裝堆疊;3D DRAM則需要多層薄膜沉積、深蝕刻與晶圓鍵合,三星在同一場研討會表示,晶圓鍵合技術將派上用場。這些製程與先進邏輯、3D IC封裝的技術有部分重疊。

理論上,HBM裡的每一層晶片未來都可以換成3D DRAM,同時拿到高容量與高頻寬。台積電目前已替SK海力士等廠商生產HBM底層邏輯晶粒。

【神山進擊記憶體 系列報導】

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