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3D DRAM量產看2030 三大廠進度

台積電
神山進擊記憶體
3D DRAM
2026.11.07 11:58 (2026.11.07更新) | 陳威睿
左:台積電南部科學園區晶圓14B廠;右:SK海力士展示的DDR5記憶體模組,資料照。(圖/4300streetcar,CC BY 4.0)
左:台積電南部科學園區晶圓14B廠;右:SK海力士展示的DDR5記憶體模組,資料照。(圖/4300streetcar,CC BY 4.0)
三星、SK海力士與美光都已投入3D DRAM研發,對外揭露的商用時間點多落在2030年前後;SK海力士2024年展示的5層試產品,測試良率56.1%。台積電與輝達對3D DRAM的評估,則未公布技術路線、層數或時程。

SK海力士 5層良率56.1%

SK海力士2024年6月在美國夏威夷舉行的超大型積體電路研討會(VLSI 2024)發表論文,展示堆疊5層的3D DRAM,測試晶圓良率56.1%,也就是每1,000顆約561顆可用。南韓媒體當時報導,要達到一般用途需堆疊32到192層;試產品雖有接近傳統DRAM的特性,表現仍不穩定。

SK海力士研究員同年8月表示,垂直通道電晶體(VCT)的製程設計,可望讓EUV相關成本減半。2025年日本京都VLSI研討會上,SK海力士技術長發表未來30年DRAM技術藍圖,宣布將在10奈米及以下世代導入4F²垂直閘極(VG)平台與3D DRAM,並把3D DRAM列為未來DRAM的主要支柱。

三星最多16層 美光傳試8層

三星在2023年VLSI研討會發表垂直堆疊DRAM(VS-DRAM)論文。2024年5月國際記憶體研討會(IMW 2024)期間,三星規畫在2030年前後推出3D DRAM商用產品,最多堆疊16層,第一步先導入垂直通道電晶體設計,並表示需要新材料與晶圓鍵合技術。

美光也投入3D DRAM研究,當時傳出測試堆疊8層。美國新創NEO Semiconductor則在2023年提出3D X-DRAM概念,捨棄晶片內的電容,改用浮體單元儲存電荷,目標230層、128Gb容量。

VCT先行 堆疊型看2030年

設備大廠東京威力科創(TEL)預估,垂直通道電晶體與4F²設計的DRAM約在2027至2028年問世;三星也把VCT列為走向堆疊DRAM的第一步。

三星2013年8月量產24層的V-NAND快閃記憶體,如今3D NAND已超過300層。上述DRAM路線圖多是2024至2025年在學術研討會揭露的時程,各廠實際進度未必公開。

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